起源の場所:
中国
ブランド名:
RPS-SONIC
証明:
CE
モデル番号:
RPS-WH-100
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バイオセンサー用新型超音波スプレーノズルコーティングシステム
超音波スプレーノズルとは?
超音波バイオセンサー噴霧は、バイオセンサー製造に使用される重要な技術です。超音波を使用して、液体コーティングをセンサー表面に正確に噴霧し、センサーの性能を向上させます。以下に詳細な紹介をします。
動作原理
超音波噴霧技術は、圧電トランスデューサーを使用して高周波音波を機械的エネルギーに変換し、液体コーティングを微小な液滴に微粒化します。これらの液滴は、キャリアガスを介してバイオセンサー基板表面に均一に塗布され、コーティングまたは薄膜を形成します。
技術的利点
高精度と均一性:液滴サイズ、スプレー速度、コーティング厚さなどのパラメータを正確に制御して、バイオセンサー表面全体に均一なコーティング分布を確保し、センサーの感度と安定性を向上させることができます。
目詰まり防止と高性能:超音波噴霧はコーティングを均一に分散させ、従来の噴霧で発生する可能性のある目詰まりの問題を解消します。さらに、この技術は高い伝送効率を提供し、コーティングの無駄を減らし、製造コストを削減します。
材料適合性:超音波噴霧は、バイオセンサーで一般的に使用される感光性素子やトランスデューサー材料を含む、さまざまな基板とコーティングに対応しています。複雑な表面にも均一に噴霧でき、バイオセンサーの多様なコーティング性能要件を満たします。アプリケーションシナリオ
タンパク質検出センサー:二酸化チタンナノファイバーと金ナノ粒子を電極表面に堆積させ、生体分子の吸着能力と電気化学的活性を向上させ、センサーの感度と検出安定性を向上させます。
酵素センサー:カーボンナノチューブとポリマー複合材料を堆積させ、酵素の安定性と標的分子への応答時間を改善し、センサー寿命を延ばします。
DNAセンサー:銀ナノ粒子と二酸化チタンナノファイバーを堆積させ、センサー電極の導電性と表面活性を向上させ、DNA配列検出の感度と特異性を向上させます。
環境汚染物質検出器:酸化亜鉛ナノ構造を堆積させるために広く使用されており、重金属イオンや有機汚染物質に対するセンサーの感度と選択性を高め、環境汚染物質のリアルタイムモニタリングを可能にします。
スプレーノズルのパラメータは?
項目 | ワイドタイプ | 拡散タイプ | バンチングタイプ | ロングノズル | 外部流体供給 |
微粒化粒子の直径 | 15-40 | 15-41 | 15-42 | 15-20 | 15-20 |
スプレー幅 (um) | 40-120 | 40-80 | 2-20 | 1-3 | 0.5-2 |
スプレー高さ (um) | 50-150 | 30-80 | 10-30 | 10-20 | 10-20 |
流量 (ml/min) | 0.5-20 | 0.5-20 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.01-1 |
適切な粘度 (cps) | <30 | <30 | <30 | <15 | <15 |
液体中の粒子サイズ (um) | <20 | <15 | <10 | <8 | <8 |
転換圧力 (mpa) | <0.05 | <0.05 | <0.05 | / | / |
スプレーノズルの写真はありますか?
利点
ペイント装置を使用したシリコンウェーハの超音波コーティングには、いくつかの手順と原理が含まれます。以下にプロセスの概要を示します。
1. 超音波コーティングの概要
超音波コーティングは、高周波音波を利用して液体フォトレジストを微細な液滴に微粒化します。この技術により、ウェーハ表面へのコーティング材料の均一な分布が保証されます。
2. 機器コンポーネント
超音波トランスデューサー:電気エネルギーを超音波に変換し、液体に振動を発生させます。
スプレーノズル:微粒化されたフォトレジストをウェーハに分散させるように設計されています。
制御システム:スプレー流量、周波数、コーティング厚さなどのパラメータを管理します。
3. 準備手順
ウェーハのクリーニング:シリコンウェーハを完全にクリーニングして、密着性に影響を与える可能性のある汚染物質を除去します。
フォトレジストの選択:目的の用途と仕様に基づいて、適切なタイプのフォトレジストを選択します。
4. コーティングプロセス
セットアップ:シリコンウェーハをコーティングプラットフォームにしっかりと配置します。
フォトレジストの充填:選択したフォトレジスト材料をスプレーガンに充填します。
超音波活性化:超音波トランスデューサーを活性化して、高周波振動を生成します。
スプレー:ノズルは、微粒化されたフォトレジストをウェーハにスプレーします。超音波は、均一なコーティングのために一貫した液滴サイズを維持するのに役立ちます。
制御パラメータ:スプレー角度、ウェーハからの距離、コーティング速度などの設定を調整して、目的の厚さと均一性を実現します。
5. コーティング後の手順
乾燥:コーティングされたウェーハを、自然蒸発またはホットプレートを使用して適切に乾燥させます。
ベーキング:溶剤を除去し、密着性を向上させるために、ソフトベーキングを実行します。
検査:コーティングされたウェーハの均一性と欠陥を確認します。
6. 超音波コーティングの利点
均一な厚さ:ウェーハ表面全体にわたる一貫したコーティングを保証します。
材料の無駄の削減:効率的な微粒化により、過剰なフォトレジストの使用を最小限に抑えます。
多様なアプリケーション:さまざまなフォトレジスト材料とウェーハサイズに適しています。
結論
超音波コーティングは、シリコンウェーハにフォトレジストを塗布するための効果的な方法であり、半導体製造および関連分野における精度と効率を向上させます。
超音波スプレーノズルは、効率性の点で従来のノズルと比較してどのように優れていますか?
超音波スプレーノズルは、効率性の点で従来のノズルよりもいくつかの利点があります。以下に、比較の主なポイントを示します。
微粒化効率:超音波スプレーノズルは、液体を微細な液滴に微粒化するのに非常に効率的です。
オーバースプレーの削減:従来のノズルは、意図したターゲットに到達しない液体の損失であるオーバースプレーを多く生成することがよくあります。
コーティング品質:超音波スプレーノズルは、高品質のコーティングが必要なアプリケーションで特に有利です。
材料の節約:効率的な微粒化とオーバースプレーの削減により、超音波スプレーノズルは材料コストの節約に役立ちます。
汎用性:超音波スプレーノズルは、水性溶液、溶剤、懸濁液、粘性流体など、幅広い液体を処理できます。
従来のノズルには、高流量アプリケーションや、より大きな液滴が必要な状況など、特定のシナリオで独自の利点があることに注意してください。超音波スプレーノズルと従来のノズルの選択は、アプリケーションの特定の要件と、効率性、コーティング品質、材料の節約の点で望ましい結果によって異なります。
超音波スプレーノズルが一般的に使用されている業界またはアプリケーションの例を教えてください。
超音波噴霧システム
超音波噴霧装置は、自己洗浄機能を備えており、噴霧プロセス中の採血管の内壁の汚染を回避し、独自のノズルの汚染も回避でき、サイクルで噴霧して使用できます。超音波噴霧システムは、噴霧の回数、距離、厚さ、その他のパラメータをプログラムできるため、噴霧効果の精度を確保できます。超音波噴霧装置は原材料を節約でき、原材料の利用率は85%にも達します。工業用超音波噴霧器は、既存の生産ラインに簡単に改造して、一貫した品質の出力を備えた効率的な噴霧を行うことができます。
工業的に実績のある技術として、超音波噴霧は、半導体、精密デバイス、ナノテクノロジーアプリケーション、燃料電池、太陽電池などの精密電子機器の製造における高性能薄膜コーティングラインに正常に適用されています。超音波噴霧中、液滴のサイズと分布を正確に制御できるため、表面積の大きい粒子が得られます。
スプレーノズルの動作ビデオを提供できますか?
私達にあなたの照会を直接送りなさい